るつぼレス超高純度単結晶製造装置と次世代パワー半導体用酸化ガリウム結晶

※単結晶製造装置内部

＜概要＞

次世代のエレクトロニクスデバイスに不可欠な高純度単結晶の製造において、

従来法ではるつぼ材料のコンタミによる単結晶性能の低下が課題でした。

当社は単結晶製造において「るつぼ」を使用しない手法を搭載した単結晶製造装置を開発し、当該装置により、高純度の酸化ガリウム結晶を製造する事に成功しました。

今後、当該結晶とその製造装置を国内外への提供を進めていきます。

＜製品説明＞

当社の単結晶製造装置の特徴は、るつぼを使用しない点にあります。

・手法

１．原材料の多結晶体ペレットを下部に置く

２．四方に設置したハロゲンランプの光をペレット上端に集光させ加熱・溶融

３．上部から種結晶を下ろし、単結晶を成長させる

この手法により、下記事項が可能となります。

・るつぼからの不純物の溶け込みを回避し、高純度な結晶を作ることが可能

・成長過程をカメラで撮影できるため、世界で初めて単結晶の成長過程の３次元データの

　取得が可能

・製造した単結晶を販売、または解析データを共有し、材料開発および開発工程の効率化が

　可能

＜企業情報＞

企業名称：株式会社アドバンスト・キー・テクノロジー研究所

設立：2014年

拠点 : 東京都小金井市中町2-24-16　農工大・多摩小金井ベンチャーポート

代表者：阿久津　伸 (CEO)

Company URL：https://www.akt-lab.jp/